全球電子工業(yè)氣體需求將激增
半導(dǎo)體產(chǎn)品仍是消費電子特種氣體的主力軍,但光伏技術(shù)的發(fā)展加大了電子工業(yè)氣體的需求量。只要石油價格繼續(xù)保持在高位,光伏技術(shù)就將得到大量應(yīng)用,全球電子工業(yè)氣體需求也將隨之激增。
電子工業(yè)氣體主要用于薄膜沉積,如化學(xué)氣相沉積(CVD)或物理氣相沉積(PVD法),這些技術(shù)主要用來制造半導(dǎo)體或光伏電池。三氟化氮(NF3)、硅烷(SiH4)和氨氣是用于半導(dǎo)體、液晶顯示器(LCD)和光伏技術(shù)領(lǐng)域的三大主要電子工業(yè)氣體。
薄膜太陽能電池在不同領(lǐng)域、不同自然條件下的普及應(yīng)用,使其生產(chǎn)過程中必不可少的電子工業(yè)氣體消費量以較快速度增長。美國工業(yè)氣體供應(yīng)商空氣化工產(chǎn)品公司近日預(yù)測,全球太陽能電池產(chǎn)能將以年均30%以上的速度增長。